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随着卫星，雷达，通信，航天等技术的不断发展，促使微波器件和组件向着小型化、高频、大功率等方向发展。微波匹配负载作为微波电路组件和系统中广泛使用的一类无源元件，它在微波电路中作为功率吸收元件主要起匹配负载和系统保护等作用。本文就微波匹配负载展开以下三方面的研究工作：在材料方面采用磁控溅射方法制备Ta-N薄膜，研究了Ta/Ta-N多层膜的微结构和电性能，还研究了快速退火以及掺杂Si对Ta-N薄膜的物理结构与电性能的影响。实验结果发现，Ta/Ta-N多层膜的电阻率随着Ta溅射时间增大而减小，薄膜的