无线传感器网络是目前国际上一个前沿热点研究领域。它的学科交叉性强，知识集成度高，受关注程度也很高。传感器网络中的各个节点要求体积小、功耗低、灵敏度高、可靠性强，这些性能均可由FBAR实现。但是相对其他较成熟的应用而言，FBAR作为质量传感器的研究与应用起步相对较晚，故此还有很大的研究价值。本文首先用实验室方法制备得到了基于Bragg反射层结构的FBAR，获得了比较理想的阻抗特性。结合FBAR的特点与现有的实验条件，为FBAR设计了一套SOLT微波测量装置，能免去探针台直接在PCB上测试FBAR的性能，且测量结果有良好精确度，为开展各项实验提供有利条件。同时利用测量数据提取了FBAR等效模型MBVD中各个参数的实际值，并建立了相应的ADS元件库，能将FBAR直接放入电路进行仿真，有效地降低后续电路设计难度与仿真时间。本文针对制得的FBAR器件设计并成功制作了微质量传感器系统，采用差频计数的方式检测谐振器的谐振频率变化。整个系统包含两路微波振荡器，输出信号经过混频器作差频，使信号的频率得到了大幅的下降，降低了后续电路的要求，提高了系统的可靠性。信号再通过低通滤波、放大、波形转换与数字分频等处理后输入单片机计数，最后存储并显示测量结果。整个电路系统模块清晰，分工合理，经过调试后已经具有一些基本功能，并且系统测试结果的重复性比较高，可以实时方便有效地反映频率的变化，进而推算出质量的变化。