【摘 要】
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GaN基垂直结构LED具有耗电量小、寿命长等优点,在通用照明、景观照明、特种照明、汽车照明中被广泛应用。GaN基垂直结构LED是半导体器件研究热点。本文主要以GaN基垂直结构LE
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GaN基垂直结构LED具有耗电量小、寿命长等优点,在通用照明、景观照明、特种照明、汽车照明中被广泛应用。GaN基垂直结构LED是半导体器件研究热点。本文主要以GaN基垂直结构LED为例,研究其铜衬底的电镀工艺、机制、特性及其对于器件性能的影响。工作内容主要包括:1)通过对电镀铜机理的探讨,优化出GaN基垂直结构LED铜衬底的酸性光亮电镀铜溶液配方;2)自行设计酸性光亮电镀铜设备;3)在工艺进行过程中逐渐摸索出趋于完备的GaN基垂直结构LED铜衬底电镀工艺:4)对镀铜层的应力、硬度及可靠性进行论述。
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