摘要：近年来光通讯的快速发展推动了集成光学的发展,作为集成光学的主要元件,光波导器件在信息的获取、传输和处理上具有十分重要的应用价值。光波导的加工属于微纳加工的范畴,目前,微纳制造技术高速发展,与离子交换、离子注入和气相淀积等其它成熟的制作工艺相比,飞秒激光加工可实现三维加工,被广泛应用于光学器件的加工中。目前光波导集成光路的发展还落后于光纤的发展,因此加大光波导器件的集成度研究,研发新的加工方法,优化波导加工的工艺参数,提高其传输性能将有利于推动集成光学器件的进一步发展。论文首先理论分析了激光束腰半径与瑞利长度及透镜数值孔径的关系,使用300-350μm的狭缝对激光通过透镜聚焦后的激光光斑进行整形,搭建实验系统利用CCD实现对激光聚焦光斑与加工深度的精确控制,研究了光波导损耗的类型和产生的机理,并分析了光波导传输损耗的几种测量方法及其优缺点,运用MATLAB软件编写程序代码,对聚焦后的光波导散射光图像进行处理,并计算出波导的传输损耗。随后研究了飞秒激光经过聚焦透镜后光束的束腰半径和激光焦斑处的峰值强度以及它们之间的关系,计算出激光在不同数值孔径、加工能量和加工速度下对应的峰值能流密度并研究其对光波导制备和损耗的影响。实验结果表明,当聚焦透镜的数值孔径为0.25,激光功率为6mW,加工速度为45-60μm/s时,加工的光波导传输性能较好,传输损耗低于-0.2dB/cm。图48幅,表2个,参考文献65篇