随着新材料的大量应用、工艺的进步、集成化程度的大幅度提高，电子器件遭受静电损害的几率也日益提高。电子器件生产过程中，人体与工作台是产生静电放电(ESD)事件的两个主要静电源。经现场实测，未做防静电处理的人体产生的最高电位达72KV，工作台面最高电位达30KV。而一般的CMOS器件耐静电电压值在100V以下。可见电子器件生产过程中，人体与工作台面静电防护设施是否有效直接影响到元器件生产的安全。在电子行业的静电防护方面，各国研究机构已制定一系列静电防护与测试标准，明确提出了电子器件生产过程中静电防护的要求。严格按照标准实施的静电防护措施，大大降低了电子元器件生产过程中的静电隐患，但也存在一些问题。 电子器件生产过程中的静电防护系统典型结构是将人体静电防护装置通过限流电阻与防静电工作台相连，工作台面上铺设防静电工作台垫，并通过接地导线与接地系统相连，组成一个ESD防护系统。这些ESD防护设备如防静电衣服、鞋袜、工作台和ESD耗散垫在正常工作的情况下，可以将EPA内的一切物品维持在同一电势上，并将物品上的静电荷通过接地系统向大地泄放。但实际操作中常常由于防静电设备的接地不良、老化、使用不当和突发故障造成静电防护性能达不到要求，人体、工作台上和电子器件表面的静电荷就不能得到及时的泄放，极易引发ESD事故。然而，目前对于静电防护设备的检测都采用定时手动的方法，使得生产过程中的静电隐患得不到及时发现，造成了很大的经济损失。针对这一情况，近年来各制造商为了进一步实施ESD防护方案，开始研究某种闭环管理模式，实现对人体防护器材和其他ESD防护设备在实际应用场合的性能连续实时地监控。 本论文依照电子行业ESD防护标准，根据电子生产的特点和实际需要，设计了电子器件生产过程中静电防护体系的监测系统，论文的主要工作和成果如下： 1．详细分析了电子行业静电防护体系的特点，提出现有防护措施存在的问题； 2．分析了ESD防护操作系统的结构和主要特点，设计了人体与工作台表面静电电位的监测电路，当人体与工作台面上的静电电位超出规定的安全范围时评估其危险等级并记录和报警；介绍了确定电路参数的方法，并在理论推导的基础上进行了实验验证； 3．介绍了电子器件生产车间的静电接地系统的设计方法； 4．设计了ESD接地系统的监测装置，实现以下功能：①实时监测ESD主接地系统的接地状态，在其出现断点时报警；②实时监测流经ESD接地系统的电流，当有工频电或其他大电流窜入时报警； 5．进行人体、工作台面静电电位监测电路和ESD接地系统监测电路的模拟实验，分析实验结果，并进行理论论证；实验结果显示，论文中设计的电路能实现对静电防护系统进行监测报警的功能。