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晶圆清洗作业对无尘工作环境和清洗设备都有很高的要求。目前晶圆清洗机采用直流伺服电动机作为驱动电机,但碳刷的磨损给无尘工作环境带来了污染,增加了维护成本。稀土永磁无刷直流电动机取消了碳刷和换向器,可靠性高,免维护,高效率,是有刷直流电动机的理想替代电机。项目研究内容包括四个方面。首先,对集中绕组无刷电机相关理论问题进行研究,如分析表贴式无刷电机转子磁钢宽度与气隙磁密波形的关系,无刷电机无位置传感器检测位置方法—电感法,在此基础上试制出晶圆清洗机中空轴无刷电机；其次,在研究所已开发的通用无刷电机