基于变动磁场的平面磁研磨加工法的研究

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目前,随着半导体、光学和航空航天等高新产业的发展,对于各种材料的复杂形状的超精密零件的表面质量和加工效率提出了更高的要求,而传统的表面加工手段很难实现。磁研磨加工法是一种非常有前景的光整加工技术,它在近几十年来兴起并发展,该加工法不仅可以加工平面和曲面,而且可以有效加工细微表面和复杂的凹凸面,更可以适用于圆管的内外表面加工和去毛刺处理。传统平面磁研磨加工法在加工过程中,细微磨料的凝聚和磁刷与工件接触后的变形阻碍了超精密加工的实现。变动磁场的平面磁研磨加工法是平面磁研磨加工法的一种,它通过交变磁场使磁性磨粒在磁场中产生上下的波动,这样不但可以将磨料运送到表面,用来抛光工件,而且还可以实现表面的磨削循环和更新,保证磨削工具的稳定性。本文采用交变磁场磁力研磨加工法对SUS304不锈钢板和5052铝合金板进行表面的光整加工。并测量了不同磁场频率下,加工区域的磁通密度的分布情况,以及不同的铁粉直径和磁场频率下,研磨压力的大小。并通过实验明确不同因素对加工特性的影响规律,得到最优的实验方案和加工参数。在本论文中,通过这种方法实现了铝合金板表面的超精密加工,使其表面粗糙度由345.33nm改善为7nm。
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