光学镜面子孔径拼接算法的性能研究

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子孔径拼接干涉测量可以在提高横向分辨率的同时,增大垂直测量范围,因而为大口径、大相对口径光学镜面的全口径面形误差测量提供了一种有效手段,并且有望获得反映细节的中高频误差。子孔径拼接算法将不同子孔径的测量数据拼接出全口径的面形误差,是子孔径拼接干涉测量的关键所在,其性能直接决定了拼接测量的精度。因此研究子孔径拼接算法的性能,对于进一步完善测量算法,促进高精度的子孔径拼接测量方法实用化具有重要意义。本文针对子孔径拼接的基本算法和迭代算法,选用了三种典型光学镜面即SiC平面摆镜、大口径球面和非
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