【摘 要】
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Fe-6.5wt%Si高硅钢具有高磁导率,近于零的磁致伸缩系数,中高频铁损低和矫顽力小等特性,因此被广泛应用于发电机、高频高速电机及变压器等。但由于其脆性大,难以通过常规方法加工成型。本研究利用PCVD法在0.1mm厚的纯铁片表面沉积硅,再进行高温扩散的方法成功制备了Fe-6.5wt%Si薄片。综合利用XRD、SEM、EDS、AFM等测试手段对样品进行深入细致的分析,讨论了各种工艺参数对Fe-Si
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Fe-6.5wt%Si高硅钢具有高磁导率,近于零的磁致伸缩系数,中高频铁损低和矫顽力小等特性,因此被广泛应用于发电机、高频高速电机及变压器等。但由于其脆性大,难以通过常规方法加工成型。本研究利用PCVD法在0.1mm厚的纯铁片表面沉积硅,再进行高温扩散的方法成功制备了Fe-6.5wt%Si薄片。综合利用XRD、SEM、EDS、AFM等测试手段对样品进行深入细致的分析,讨论了各种工艺参数对Fe-Si薄膜的表面相、表面及截面的微观结构、显微硬度分布及磁性能等因素的影响。研究结果表明:沉积
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