无源UHF RFID加速度传感芯片射频模拟前端设计

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射频识别(Radio Frequency Identification,RFID)具有体积小、功耗低、无接触传输信息等特点。基于物联网的射频识别(RFID)系统和各种传感器相结合,在智能化识别、定位、监控、远程自动测试等领域得到越来越多的应用。本文研究一种超高频(UHF) RFID加速度传感芯片射频模拟前端电路。本文的主要工作包括以下几个方面:1、根据ISO18000-6 Type C协议规范,对无源UHF RFID加速度传感器的系统结构进行了研究,确定了各个子模块的电学性能指标参数。2、研究加速度传感器的设计,介绍加速度传感器的工作原理,以及基于深反应离子干法刻蚀的体硅正面加工工艺。3、采用SMIC 0.18um CMOS工艺,设计了集成加速度传感器的无源UHF RFID标签射频模拟前端电路。该电路由整流电路、基准电压产生电路、稳压及保护电路、上电复位电路、调制电路、解调电路、时钟电路以及加速度接口电路组成。为实现低功耗,整流电路输出高低压两种电压,分别给上电复位电路和数字基带(1.8V)以及其他模拟电路(1.0V);并在基准电压产生电路中采用亚阈值区MOS管降低功耗;RFID标签输出采用反向散射工作机制的ASK调制,通过调节标签天线输入阻抗匹配的程度,使天线反向辐射载波信号,向阅读器发送标签的输出信号,避免了射频载波的有源发射,功耗极低。仿真结果表明,射频模拟前端系统在数据率为40Kbps-160Kbps时均可正常工作,总功耗约为7uW,满足低功耗设计指标。
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