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微/纳制造技术作为衡量一个国家在制造水平方面的重要标志,已应用于国防、工业控制、精密制造加工、电子制造、光学、信息、医疗、航空等各领域,在促使科技的进步、推进产业的发展、带动经济的增长以及保障国防安全等方面发挥着重要作用。微定位机构作为核心部分,其设计水平直接反映了微/纳制造技术的高低,因此如何设计具有刚度高、动态特性好以及实用性强的精密微定位机构正逐渐引起各国专家和研究机构的重视。目前大部分设计出的集成式全柔性并联微定位机构传递力、运动或能量是通过其部分或全部柔性杆件的弹性变形实现的,与传统的柔性