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随着光学仪器等超精密仪器的不断发展,外界微小的扰动已成为制约精密仪器设备特征尺寸不断减小的重要因素。针对超精密仪器设备隔振要求,本课题是在国家科技重大专项的框架范围内,研发具有高性能、超精密主动隔振系统。本文针对某型号超精密隔振系统,进行了相关的动力学测试、建模和参数辨识,为隔振系统的性能优化和主动控制提供理论依据和指导。在测试方案设计与分析部分,采用数学描述的方法分析介绍了几种典型的激振方式的特点和适用范围,结合隔振系统的结构特点,确定了隔振系统的激振方式;在传感器部分,介绍了位移传感器、