在科学技术迅猛发展的今天,许多领域都要求产品向高精度、高速度、小型化等方向发展,作为微细加工技术之一的微冲压加工,具有成形效率高、成形零件性能好和精度高等特点,非常适合微型零件的低成本批量制造。但是微冲压加工中所用的模具有特征尺寸微小、材料硬度高等特点,这大大增加了模具加工的困难。微细电火花加工技术通过脉冲放电去除材料,工具电极与工件之间无宏观作用力,无需考虑材料的硬度等机械性能,而且加工精度高,因此其非常适合加工微冲压加工所用的模具。本文在自主搭建的立式微细电火花加工机床上,利用基于LabVIEW软件编写的微细电火花加工控制程序进行了微冲压模具的研制。在进行微细电火花三维铣削时发现,由于工具电极的损耗、工具电极与工件之间的二次放电等原因,型腔的入口尺寸大于出口尺寸,本文使用的是500μm厚的薄片,为便于叙述,在此将型腔入出口之间的差值称为锥度。由于有锥度的存在,这将会导致落料件难以落料,而且会影响落料件的尺寸,甚至对工件造成破坏。本文通过微细电火花三维铣削设计尺寸为500μm×500μm×500μm的方腔实验对锥度进行了研究,采用增大工具电极总进给深度超过方腔设计深度的方式以减小型腔锥度,并做了两种进给深度下的对比实验。为了提高加工效率,改善加工状态,实验过程中引入了超声振动并将其施加于工作液中。实验结果表明,超声振动的引入,有助于将加工产物排出加工区域,可以使锥度得到一定程度的减小。通过增大总进给深度的方法,利用电极未使用过的部分对锥度进行修整,并延长加工时间,使二次放电更加均匀,锥度可以从3.0563μm减小至0.6935gm,锥度减小了77.3%,说明总进给深度的增加确实可以减小型腔的锥度。随后,本文利用微细电火花三维铣削技术、超声辅助振动工作液的方法进行了异形微冲压凹模的加工,同样做了两种进给深度下的对比实验。当采用大进给深度时,锥度减小了56.8%,这进一步验证了进给深度的增加可以减小型腔的锥度。利用微细电火花反拷贝加工技术、超声辅助振动工作液的方法进行了异形微冲压凸模的加工,结果表明,不仅凹模型腔会出现锥度,凸模沿其轴线方向同样会出现锥度,这有待于进一步解决。本文为异形微冲压模具的加工方法提供了新的思路,并通过制定合理的加工工艺路线,选择合理的加工参数,成功地加工出微冲压模具,为进一步优化加工工艺,提高工件加工质量和加工精度提供了依据。