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在硅片制备各工序中，尤其是硅片的切割过程，会产生大量的废弃硅屑。如何充分利用这些废弃物，变废为宝，成为各研究者关注的热点。硅片切割锯屑粒度较细，经简单回收处理后具有高活性，无需做活化处理。近年来，国内外太阳能光伏产业的迅猛发展使坩埚涂层材料进一步引人注目。研究探索使用一种经济简便的方法，合成高纯度的氧氮化硅粉末材料，具有实用意义与应用前景。在本论文中，我们以硅片切割锯屑为原料，通过酸洗预处理提纯后，与不同形态的固态氧源SiO2进行气-固反应合成氧氮化硅，并在此基础上研究了以石英为固态