在工业生产、生物分析、化学合成、化学组份分析等领域,流量已经成为重要的指标之一。研究人员已经开发出许多流量测量的方法和技术。其中,光纤传感技术凭借自身抗电磁干扰强、灵敏度高、精度高等特点逐渐引起了研究人员的兴趣。光纤法布里-珀罗（Fabry-Pérot,F-P）传感技术作为光纤传感技术的重要组成分支,在流量测量领域也有着广泛的应用。本文主要对膜片式光纤F-P流量传感器的传感膜片的特性以及传感器的结构进行了研究和讨论。主要内容如下:1、阐述流量测量的研究背景和意义。主要介绍了光纤流量传感器的研究背景、原理以及国内外研究现状。在光纤类流量传感器中,着重介绍光纤非本征型法珀干涉传感器（Extrinsic Fabry-Pérot Interferometer,EFPI）的研究与应用。2、介绍膜片式光纤EFPI传感系统的基本原理和结构。分析膜片形变原理,为后续传感器膜片的选择提供理论基础。在传感系统解调方面,分析对比相位、强度、波长等光纤F-P结构传感器的解调方法,为后期解调方法的选择提供参考。3、提出并实现基于液膜的光纤F-P传感器的微流体流速测量系统。待测微流体的液面和位于准直毛细管内的单模光纤（Single Mode Fiber,SMF）端面构成F-P腔的两个反射平面。测量时,将传感器垂直插入圆管道内感测微流体流速的变化。由于不同流速的微流体对圆管道侧壁产生不同的压力,导致毛细管中液柱的高度不同,从而使F-P腔的腔长发生变化。通过监测反射光谱的波长漂移来实现对微流体流速的测量。实验结果表明,传感器对微流体流速的最大流速响应灵敏度为0.037nm/（μL/min）;在不同浓度的盐水情况下,传感器对微流体流速的测量也得到拟合度较高的拟合曲线。4、提出并实现基于PDMS的光纤F-P传感器的风量测量系统,F-P腔由PDMS膜片和SMF端面构成。首先分析PDMS的特性,介绍利用滴定法制作PDMS膜片的过程。然后详细介绍毛细管嵌套结构的传感器的制作过程。最后设计实验方案,研究传感器对流体不同风量的灵敏度响应以及对温度的灵敏度响应。由于传感器膜厚的影响,出现了三光束干涉的F-P级联现象。运用低通滤波和带通滤波的方法分离出空气F-P腔(Lair)和PDMS膜厚F-P腔(LPDMS)各自的光谱。实验结果表明,Lair腔的风量灵敏度为-1.1025nm/CFM,LPDMS腔的风量灵敏度几乎为零;Lair腔温度变化引起的测量误差为0.1899CFM/℃,而LPDMS腔则极易受温度变化影响,从而产生较大的测量误差。最终得出,Lair腔受温度串扰影响较小,可以用作风量测量的主要F-P腔。