X射线是自伦琴发现以来,就逐渐受到全球的重视,现在已经发展成科学研究中必不可少的研究工具。而X射线衍射元件是X射线光学中重要的一类元件,其应用领域已经扩展到光学的所有分支以及其它多个学科,在X射线天体物理学、激光等离子体诊断、同步辐射应用、光通信、极紫外干涉光刻等领域有着广泛应用。在衍射光栅普遍的应用中,很多情况下只有第一能级是必要的,高级衍射级次会叠加在一级谱上会带来不容易消除的误差,导致了一个复杂的展宽结果。这些不确定因素不可避免地引入一些错误的结果,制约其摄谱精度,降低整个系统性能。针对以上情况,本文介绍了一种结构简单、易于实现的准周期单级衍射光栅(MGPGs),详细介绍了一种混合电子束光刻、X射线光刻、紫外光刻以及微电镀工艺的制作工艺,并得出了成功的结果,并且研究了其制作工艺以及碰到的技术难题和解决办法。