三相磨粒流是一种新型的超精密加工方法，其作用是加工硬脆性工件表面，使其表面粗糙度下降到纳米级别。三相磨粒流空化破裂过程格子Boltzmann求解与工艺优化将为这种方法提供空化冲击磨粒、原子级材料去除机理等方面的理论和基础技术支撑，形成具有工程指导意义的理论模型。　　精密光学零件和功能晶体材料零件均属于高端光学装备和电子制造装备的关键零部件，而超光滑表面加工装备本身则属于超精密加工高端装备，因此，针对超光滑表面加工的关键科学问题开展研究，探索超光滑表面加工的新原理，新工艺和新装备，符合高端装备制造发展的需求。本课题是在液固两相流基础上增加空化冲击效应而得的气液固三相磨粒流。在气液固三相磨粒流中，气泡溃灭产生的效应是否会对液固两相流加工产生优化作用，是本课题探究的重点。因此，本课题基于格子Boltzmann方法，对气泡溃灭进行数值模拟，以探究气泡溃灭后气泡对流场、磨粒产生的影响。并对气泡不同的初始条件进行数值模拟，探究气泡溃灭对三相流加工有益的最优条件。通过数值模拟发现气泡的溃灭将产生强大的冲击波，能推动磨粒的运动，同时会冲击壁面，这是有利于三相流加工的。最后通过实验验证三相流加工的效果得知，被加工工件表面粗糙度达到了纳米级别的精度。本课题证明了三相流加工是一种可行的新型抛光方法。