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纳米多层膜表现出超硬效应和超模量效应而成为一类具有良好发展前景的硬质薄膜材料.纳米多层膜交替沉积形成的调制界面共格状态以及由共格界面约束而产生的亚稳相对多层膜的力学性能有重要影响.该文研究了具有同结构共格外延生长的（Ti,Al）N/VN和含有亚稳立方AlN相的VN/AlN两种不同类型的纳米多层膜的界面微结构与超硬度、超模量效应的关系.并采用了曲率法评价了常用XRD衍射法难以测量的纳米多层膜和TiN单层膜的宏观内应力.