方块电阻是用来评价半导体材料导电性能的关键参数,通常采用接触式的四探针方法测量,对样品表面具有破坏性,不利于半导体晶片的质量控制。而传统的非接触式涡流方块电阻测量法会引起被测物体温度升高,影响了测量的准确性。相比较,非接触式的脉冲涡流方块电阻测量法可提高测量精度。为此,本文采用非接触式的脉冲检测原理,设计了一款基于ARM内核的sTM32芯片便携式的脉冲涡流方块电阻检测仪器,涉及测量探头、探头电路、单片机处理电路、显示电路和电源电路等的硬件电路设计,以及相配套的处理软件设计。主要研究工作及成果如下:1.从脉冲涡流检测理论出发,分析了脉冲涡流检测原理。通过PsPICE仿真,确定了脉冲涡流检测电路的电路参数,并得出了脉冲涡流检测方块电阻的电容电压与方块电阻的关系曲线。2.通过有限元方法对脉冲涡流法检测探头参数进行了优化设计。仿真分析了线圈匝数、线圈内外径、测量距离对检测电压、磁场密度、磁场强度的影响。最终得到优化后的匝数为40匝,优化后的探头内外径分别2.11rm和_4。⒍m,测量距离为1Ⅱm。3.设计了一套适用于脉冲涡流检测便携式仪,仪器由测量探头、探头电路、单片机处理电路、显示电路和电源电路组成,并设计了一套软件系统,使得测量到的信号可以被有效地转换、处理、存储和显示,并采用数字滤波算法一定程度降低了误差,使得测量的方块电阻值可以被系统提取并显示。4.研制了脉冲涡流方块电阻测试仪,经过测试,在⒋100Ω/□范围内的测量误差在10%以内。