微流控芯片是生化传感器的重要组成部分，而微流泵是微流控芯片的核心组成单元，它能够减少生化反应中的样品消耗。本论文的主要工作就是研究制作一种用于生化传感器的微流控系统，具体工作包括以下几个方面：　　 1提出了行波驱动微流泵这一理论，并对此理论进行了理论推导和仿真验证，同时，也进一步说明了行波的产生方式，行波是由四片压电双晶片在四路频率相同，振幅相同，相位相差90度的方波控制下产生的。　　 2研究了压电行波微流泵的制作工艺以及参数设置。对影响行波微流泵性能稳定的各种因素有一个全面的了解，在此基础上，参考各种文献，能够提出改善性能的技术方案。　　 3设计了微流泵的驱动控制电路，包括直流稳压电源，单片机控制电路。设计的电路能够产生控制四片压电双晶片的方波信号，并且能够实时的显示出当前设置的方波信号的频率，幅度，和时间信息。　　 4制作了两种沟道结构的压电行波微流泵，分别是条形沟道和锯齿形沟道结构的微流泵，测量其频率，电压等因素对微流泵流速的影响，并且测量了其最大背压。　　 5使用流体仿真软件Fluent，对制作的压电行波微流泵进行了流体仿真，并且将仿真的结果与实验的结果进行比较和分析。　　 实验结果和仿真结果都证明了行波理论的可行性，同时通过对两种沟道结构的微流泵的实验对比，结果发现锯齿形沟道结构的微流泵有着更好的性能，它在驱动电压幅度为26V，频率为1437Hz，占空比为1的方波驱动下，它的最大流速和最大背压分别是33.36μ l/min和1.13KPa，这完全能够满足生化传感器对液体传送动力的需求。