Al-Cu-F e薄膜的组织调控及其性能研究

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【摘要】

：

Al-Cu-Fe薄膜具有很多优异的性能，如低的电和热传导性能、高的硬度、低的摩擦性能和良好的抗氧化性能，同时Al-Cu-Fe原料易于获得且价格便宜而引起很多研究者的兴趣。目前对于Al-Cu-Fe薄膜的组织结构及其性能有较多的研究，但对于Al-Cu-Fe薄膜的生长机理还不是很完善。外加磁场制备Al-Cu-Fe薄膜并对其组织进行调控还鲜少有人进行研究。本文以Si 作为基底，采用外加磁场磁控溅射的方法对

【作者】

：

毛秀娟

【机构】

：

上海工程技术大学

【发表日期】

：

2014年12期

【关键词】

：

外加磁场磁控溅射 Al-Cu-Fe薄膜组织调控退火

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