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绝缘脆硬材料由于具有绝缘性、耐磨损、耐腐蚀等优良特性,在生命科学、半导体等行业发挥着重要作用。电化学放电加工(ECDM)作为一种加工脆硬材料的方法被越来越多的研究者所关注。本文采用钨丝电极对高硼玻璃进行电化学放电铣削加工工艺研究,开展的主要研究工作和获取的成果如下: (1)介绍了电化学放电加工机理和氢气膜等效电路模型,搭建了铣削实验平台,完成了铣削加工软件的编写。 (2)选择合适的工具电极与加工液对高硼玻璃进行了微槽加工。采用直流电源通过正交实验法研究了电压、溶液浓度、进给速度对于微槽宽度的影响。采用脉冲电源研究了脉冲占空比对于微槽宽度的影响。 (3)介绍了电化学放电铣削原理,在不同的电极重叠率、电压、溶液浓度条件下进行平面铣削加工实验,研究了各种工艺参数对于表面粗糙度的影响。 (4)分析了电化学放电加工过程中存在的误差及形成原因,进行铣削加工的补偿试验,提高了工件的加工精度。进行三维结构的铣削实验,证明电化学放电铣削加工有潜力运用于实际生产中。