光学薄膜损伤阈值是衡量光学薄膜抗激光损伤能力的重要参数,而要实现损伤阈值的测试必须先实现薄膜损伤的判识。本文提出了一种基于声波频率特征与薄膜损伤内在关系的判识方法,与传统声学法比较,该方法不仅继承了以前光声法判识薄膜损伤的优点,也降低了利用振幅特征带来的误判率,大大提高了薄膜损伤判识的准确性。文中先对薄膜损伤常见判识方法的优缺点做了归纳总结。对激光与光学薄膜相互作用的致声机理做了分析,阐述了激光能量不断增加时引起的薄膜热膨胀、气化和光击穿三种机制。建立了光学薄膜损伤测试系统和声波信号采集系统。其次研究了单层SiO2薄膜和Hf02薄膜在不同激光能量下的损伤情况,对其采集到的声波时域信号进行傅里叶变换,比较和分析薄膜损伤前后的声波频谱曲线,提取频率特征,从而找出声频特征下的薄膜损伤判据。实验结果可得,在高频谱范围(24KHz～40KHz)内,SiO2薄膜和HfO2薄膜损伤前后具有类似的声波频谱曲线特征：①薄膜样片在损伤前的频谱曲线是相似的,受损后的曲线随着激光能量不断的增加趋于相似,波峰和波谷数目不断变得稳定,但是破坏前的与破坏后的频谱曲线却不相同；②薄膜从未损伤向损伤过渡时,在24KHz到25KHz之间有一个明显阶跃点,且该频率点位置变化不大。将薄膜完全损伤后的平均声波频谱曲线作为基准频谱曲线,与不同激光能量等级下的高频谱曲线相比较,可以获得它们之间的相似度。激光能量越大,薄膜损伤越严重,相似度值也越小,SiO2薄膜和HfO2薄膜损伤时的相似度范围分别为：0～0.255和0～0.296,未损伤时的相似度都明显大于0.3。阶跃点具体位置都在24.4KHz-24.5KHz范围内。并且与相衬显微法对相同薄膜进行损伤判识的结果相一致。因此,该方法能够准确的进行薄膜损伤的判识。