基于测热式原理的集成微流体流量传感器的设计、制作及信号处理

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【摘要】

：

流量测量是人们了解和控制流体的一种重要手段,在工业生产和过程控制中占有重要地位。随着微电子工艺和MEMS技术的日趋成熟,医学、制造、分析仪器和分子生物学等领域在微全分析系统中应用的快速发展,人们对于流体流量的测量和控制要求越来越高。使用MEMS微加工工艺制作的微流量传感器具有功耗低、成本低、结构简单、检测灵敏度高的特点,得到广泛关注。本文研究了基于测热式(Calorimetric)原理的微流量传感

【作者】

：

芦琦

【机构】

：

上海交通大学

【发表日期】

：

2011年01期

【关键词】

：

微流量传感器测热式原理 COMSOL模拟 SU-8负光刻胶 SU-8与PDMS键合

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