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透明导电氧化物薄膜在光电产业扮演着很重要的角色。目前应用广泛的透明导电氧化物薄膜主要有氧化铟锡薄膜(ITO)、氧化锌铝膜(AZO)、掺锑氧化锡(ATO)等。 铟锡氧化物(ITO)是制造透明电极的重要材料。ITO薄膜导电性好，对可见光透明，对红外反射性强。ITO结构中的氧空位和锡掺杂使得它具有很强的导电性，较大的能带间隙宽度(E_g＞3eV)使得它具有很强的光透明性。 因为ITO薄膜的优良光电性能、很强吸附能力、硬度高、化学性质稳定，使得ITO薄