希尔波特变换条纹分析法及其在非球面镜测量上的应用

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近代光学干涉检测是一项复杂的精密测试技术,它需要结合并运用光学、电子、机械、计算机等多个领域的知识和技术,这种检测方法最终归结为对一系列静态或动态连续的实时干涉条纹图进行分析和计算。 条纹图像数字化处理技术基本上分为两类:基于条纹亮度分析的条纹中心法和基于时间与空间相位分析的相位法。条纹中心法的算法为条纹跟踪法,即模仿趋近法来研究条纹中心。相位测量法能够克服由于条纹跟踪而产生的问题,而且相位测量只受照相机的空间分辨率和计算机处理数据能力的局限。 在相位法中,普遍采用的求解相位的方法主要有三类:一类是傅里叶变换法,该方法只需一幅条纹图即可算出相位,但计算量较大;一类方法是相移技术,该方法需要相移器和多幅相移图。根据相移次数的不同,目前有三步、四步和五步等不同的相移器算法;另一类是最大——最小扫描法。 本课题研究了希尔波特变换法解调相位的原理和利用希尔波特变换法对干涉条纹的分析与处理的方法。同时,本论文也论述了仅用一幅光载频干涉条纹获取非球面镜表面的全部相位信息的方法。该方法是通过对条纹进行希尔波特变换、高通滤波、相位去包裹等操作,再由最小二乘原理,迭代出条纹的相位分布,并通过积分关系得到波面的面形信息。并讨论了条纹相位的算法,误差修正和测量面形的应用。 干涉仪采用的是利用双波带板产生干涉条纹的径向剪切干涉仪,用CCD摄像机采集干涉图像。
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