【摘 要】
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纳米硅指尺度几纳米到几十纳米的晶化硅颗粒组成的固态材料,该文对纳米硅薄膜的微结构作了系统的研究.对纳米硅颗粒的晶化特征进行了定量的分析,讨论了边界组织.介于晶粒和无
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纳米硅指尺度几纳米到几十纳米的晶化硅颗粒组成的固态材料,该文对纳米硅薄膜的微结构作了系统的研究.对纳米硅颗粒的晶化特征进行了定量的分析,讨论了边界组织.介于晶粒和无序成分之间还有一个少数原子层的过渡结构,边界区富含成键氢,有利于材料的光热稳定.纳米结构在应力应变下表现出高的压阻效应和良好的可重复性,是一种潜在传感材料.用PECVD的方法制备纳米硅样品对制备条件十分敏感.该文讨论了反应气体浓度、衬底温度、直流偏压等工艺参数对微结构及光谱特性的影响,并将所得到的一些结论用于碳合金的制备,制出可变禁带宽度的非晶碳化硅薄膜.
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