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太阳能电池是一种光能转换成电能的重要器件。目前,在单晶硅、多晶硅、非晶硅、多元化合物等众多太阳能电池种类中,非晶硅太阳能电池因其制作成本相对低廉而成为最有发展前途的新型太阳能电池之一。但由于非晶硅太阳能电池的光电转换效率较低,限制了其大规模生产。随着激光技术的发展,飞秒激光已经逐渐成为一种有效材料微纳加工工具。但是,目前采用飞秒激光直扫技术以提高硅太阳能电池效率的工作,尚鲜有报道。我们采用该直扫技术,对非晶硅太阳电池硅膜表面绒面处理,可较大提高电池效率。本文主要从提高非晶硅太阳能电池光电