随着激光全息技术及其应用的发展，对衍射图像激光干涉直写系统的性能提出了越来越高的要求。 本课题在苏州大学高精度、小幅面衍射图像激光直写系统(HoloMaker-Ⅲ)的基础上，对原有系统中多个关键环节，尤其是机械结构、系统控制进行了分析和研究。利用半导体泵浦全固态脉冲激光器(DPSSL)作为光源，把图像数据转换成计算机控制信号，来控制激光脉冲输出和运动系统的运行，并采用连续脉冲曝光模式在光阻剂上进行了高速干涉光刻直写实验，获得了最大幅面为610mmX800mm衍射光变图像。 本文提出了轻量化光学头的设计方案，通过更换旋转光栅腔体中的二元光学分光元件，可以实现多种衍射光变图像的制作。系统采用直线电机以及高精度光栅尺实现全闭环定位控制，最终获得高重复定位精度，点与点间的精度为1um，点内精细度为0.5um。本系统逐点光刻速度可达500dots/s，矢量化速度可达3000dots/s。本系统已达到工程化水平，具有很高的工业化价值。