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并联六自由度平台机构具有结构刚度大、承载能力强、位置精度高、响应快等结构优点,在位置精度要求较高的诸如微型机器人、微机械、光纤传感技术、光子学等方面都有广泛的研究和应用。六自由度工作台目前大多采用由Stewart提出的Stewart结构及其变形结构,具有结构紧凑,运动灵活,各运动关节误差不积累,精度高等优点。本文研究了一种新的六自由度微位移平台结构模型,将9个压电陶瓷排列在4层平板之间,组合压电陶瓷的伸缩变形实现平台在X,Y,Z方向上的微平移和微转动。对具有迟滞特性的压电陶瓷的精密控制是平台位姿变化