论文部分内容阅读
本文对铜铟镓硒（CIGS）太阳电池薄膜材料应力进行了研究。文章分为六个部分：
第一章阐述了CIGS薄膜太阳电池的结构和制备工艺，指出CIGS太阳电池各层薄膜内普遍存在应力问题。
第二章阐述了薄膜应力的物理知识，包括薄膜应力的研究进展，薄膜应力的分类和成因，介绍了薄膜应力的研究模型和测试原理。
第三章系统研究了单质金属Mo薄膜的应力。
第四章研究了ZnO：Al(ZAO)薄膜的应力。室温下制备的ZAO薄膜主要是压应力，热处理可以使ZAO薄膜内应力得到释放。
第五章研究了两种制备工艺对CIGS薄膜应力的影响。共蒸发法制备的CIGS薄膜的应力多为拉应力类型，而溅射后硒化法制备的CIGS薄膜则为压应力。
第六章分析了CIGS太阳电池整体应力和界面应力。