定向凝固法制备多晶硅铸锭的结构与性能研究

来源 :云南大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:peterqiu123
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
多晶硅是光伏市场制备电池的主要原材料之一,硅片质量的好坏关系着太阳能电池的转换效率,改善晶体生长技术来控制形核及生长,进而减少晶体生长过程中的缺陷显得尤为重要。为此,本文采用定向凝固法生长多晶硅铸锭,借助金相显微镜、微波光电导衰减法μ-PCD、四探针电阻率测试仪和电子背散射衍射EBSD等检测手段分别对多晶硅铸锭的微观形貌、晶体取向、电学性能及晶界类型进行了表征分析。结论如下:1、进行下拉速率实验,选取下拉速率为:5μm/s、10μm/s、15μm/s、20μm/s。研究结果表明:优化后的下拉速率是15μm/s,在此条件下,侧壁晶核大部分被底部垂直生长的晶核吞并,整体柱状晶生长明显,晶粒尺寸大且均匀,位错密度较低:5.5~7.98×103cm-2,电学性能较优,少子寿命:0.91~1.72gs,电阻率值:0.56~0.76Ω·cm。该条件下硅锭的晶面取向从底部至顶部都出现了择优化:(101)→(110)→(111),这些晶面极易出现孪晶晶界,对应的∑3晶界比例也相对要高,分别为:底部45.5%,中部37.48%,顶部49.56%。2、进行熔炼温度实验,选取熔炼温度为:1420℃、1470℃、1520℃、1570℃、1620℃。研究结果表明:随熔炼温度升高,晶粒轴向生长的现象较为明显,电阻率也在升高,但继续升高温度,只会使硅锭底部发生重融和顶部发生龟裂的结果,因而1520℃条件较适合制备多晶硅铸锭,晶粒呈聚拢型生长,利于排杂,且其晶面取向是(111),易产生重合位置点阵晶界,该条件下的电阻率在0.65~0.81Ω·cm之间,且其少子寿命较高,数值为0.75~1.19μs。3、进行不同坩埚底部形状实验,选取形状为:锥底、凹底、平底、凸底坩埚。研究结果表明:锥底坩埚在凝固初期能够给硅锭提供较好的形核生长条件,只需要很小的过冷度就能形核并生长,并且这样的有利条件会随着底部锥形结构越明显,更有利于将杂质往边缘富集,使硅锭中间区域位错很少,边缘区域有大量的位错排,可以有效改善其电学性能,电阻率:0.62~0.81Ω·cm,少子寿命:1.1~1.75μs。而凸底坩埚条件下,电阻率值最低:0.12-0.53Ω·cm,少子寿命整体较低:0.3~0.7μs。实验结果与它的坩埚结构紧密相关,凸底坩埚并不适合多晶硅铸锭生长,整个生长并不稳定。
其他文献
在艺术设计学中,科学技术与艺术的不可避免的汇合使二者间的协调发展成为必然,这可以说是艺术设计学的一大学科特色。包装设计中所牵涉到的包装材料和包装技术已经使得自身的
文艺复兴时期的文化带有世俗性的特点。这种世俗性文化以世俗的个人作为思考万事万物的出发点和中心,并以现世的个人利益为追逐的目标和道德原则,由此形成文化的商业化倾向。
近年来,随着第三方支付平台、电子商务平台等一系列网络工具和网络技术的不断发展,"互联网金融"这一名词被越来越多人所熟知,我国的互联网金融这一新兴的金融形态在近两年爆
伴随着市场经济的迅速发展,国内的信息网络技术也被广泛应用在了各个行业中,在这一背景条件下促使电子信息工程也得到了长期稳定的发展,而且已经渗透至人类的日常生活中。电
企业是以盈利为目的的经济组织,只有追求一定的经济效益才能更好地生存和发展,它也是判断企业经营质量以及发展水平的主要标尺。在当前的市场经济环境中,企业要采取多种措施
为了解防冻剂对过氧乙酸杀菌效果的影响,采用正交设计试验,以载体定量杀菌试验法进行了实验室研究。结果,在 20g/L过氧乙酸内加入体积分数 15%乙醇和 50g/L十二烷基苯磺酸钠,
<正>一、童年记忆我出生于广西玉林市陆川县。我们家有四口人,爸爸、妈妈、我,还有一个可爱的弟弟。父母做生意,虽然我们家不算富裕,但是父母总是竭尽全力为我和弟弟提供最好
当事人之间达成以个人资产作抵押为债权提供担保的约定,但未对个人资产进行特定化说明,该约定能不能起到抵押担保的作用?个人资产可否作为抵押担保中的抵押物?以个人资产为抵
依据有关消防法律法规和技术规范 ,考虑火灾事故的综合效应 ,结合物料、建筑结构以及着火源等多方面因素 ,分析目前规范对照判定法、ABC评分判定法、系数累计判定法、分类对