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ZnO是一种宽禁带半导体材料,室温下的禁带宽度为3.37eV,激子束缚能为60meV,具有室温下发射紫外光的优异特性,此外,它的各种点缺陷还可发射蓝光或绿光,因而受到人们的广泛关注。电致发光是一种将电能直接转换为光能的固体发光现象,电致发光器件以其冷发光、响应快、功耗低、重量轻、成本低廉、器件结构简单等优点而广泛的应用于照明及平板显示领域。本文利用溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜并对其结构、光学透过率、表面形貌及PL谱进行了研究,并采用传统的MS器件结构制备了ZnO薄膜的电致发光器件,进行了发光观察。论文