新型真空紫外光谱仪关键技术研究

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波长标定技术作为光谱仪器的关键技术之一,其目的是建立焦平面上各点坐标与入射光波波长的对应关系的数学模型。波长标定模型的建立通常需要做以下几方面工作:①了解待标定的光谱仪器所采用的光学系统的具体结构;②了解光谱仪器各组成部件的具体参数。包括元件本身的相关参数(例如光栅的入射、衍射角,棱镜的项角以及折射率等)以及各个部件之间的相对空间位置关系;③根据现有的光学分析理论(以“光程函数理论”最为经典)进行分析,得到焦平面上各点坐标与入射光波波长的对应关系的理论数学模型。可以看出,不同的光谱仪器无论在光学系统结构或者元件的选择上都不尽相同,因此每一台光谱仪器都具有其独有的波长标定模型。 本文研究的波长标定技术主要针对国家同步辐射实验室研制的二维中阶梯光栅光谱仪器。首先第一章对光谱仪器的相关知识以及波长标定技术的国内外发展现状做了介绍;随后在第二章中介绍了常见的像差理论:第三章主要介绍了二维中阶梯光栅光谱仪的研制背景以及其特点、参数;第四、五章介绍了光谱仪器的光学系统结构以及接收器件;最后在第六章中详细介绍了波长标定模型的建立过程并最终得到了较为精确的结果。 作者主要做了以下工作: ①建立了适合该光谱仪器的波长标定数学模型。并利用该模型计算了Fe元素标准谱线在焦平面上的理论位置,得到了理论图像。通过与Fe元素实验图像的比较,发现该模型存在一定误差,需要通过进一步优化才能实际应用。 ②通过第2步分析,利用遗传算法对第二步中建立的数学模型参数进行了优化。同样计算了Fe元素标准谱线在焦平面上的位置,得到理论图像。将优化后的理论图像与实验图像比较并对比优化前的理论图像,可以看出,数学模型经参数优化后误差大大减小,其最大误差小于光谱仪器的分辨率,证明了优化后的数学模型适合实际应用。 ③使用Visual C++6.0编写了新型真空紫外光谱仪的简易控制软件,可方便地设置光谱仪器的各种参数,控制光谱仪系统进行实时图像采集。
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