平面消像差光栅的理论和检测方法研究

来源 :中国科学技术大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ccx1942
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
消像差光栅在国外研究了多年,国内相关研究甚少.消像差光栅的设计、加工、检测、应用仍然需要进一步研究.消像差光栅的加工、检测技术一直是难点.根据现有条件和国内外情况,该文以检测为主,兼顾全息加工.鉴于光栅面形的检测己很成熟,光栅的线密度检测为该文的核心内容.以前的方法一般都是检测光栅成品,而如何保证加工出来的光栅线密度准确更为重要.使用干涉测量,既可以用于光栅成品的检测,也能用来保证加工质量.
其他文献
期刊
长期以来,示波器一直以专一的时域观测功能为众多科研人员熟知。随着电子信息行业的快速发展,模拟示波器向数字示波器的发展转变,不仅带来了如测量精度、波形捕获率等各项指标的提升,也为示波器集成各种高级功能提供了多种可能性。本课题在基于数字存储示波器平台上,增加了时频分析的功能,把示波器从原来单一的时域观测仪器变成了集成时域、频域、时频联合域多维度的观测仪器。由于示波器在硬件前端的采集模块依然只有时域数据
水情数据测报一直以来是水利自动化研究的一个重要课题。特别是随着物联网的发展,网络水位传感器已变成一种趋势。随着嵌入式芯片技术的发展,利用嵌入式实现以太网通讯已经变
压裂过程中,井筒温度的变化会影响压裂液到达井底时的流变性以及在地层中的滤失性,准确预测井筒及地层温度分布可以指导施工方案的设计.关于压裂过程井筒温度场的研究主要集
生物学界昆虫复眼的视觉特点激发了科学家们研究模仿的兴趣。模仿生物复眼结构设计成像系统,是希望可以获得体积小、视场大、能够快速跟踪移动物体的系统特性。   本论文研
超导腔调谐器是超导组元的重要组成部分。其用来补偿或阻尼超导腔运行时由于洛伦兹力、束流负载效应、麦克风效应等影响产生的频率变化。由于大部分调谐器需要工作在低温、真
期刊
期刊
联合收割机在现代农业生产收获中起着至关重要的作用,将联合收割机用于生产收获中可改善劳动条件、解放劳动力、保证高效收获,具有较大的应用前景。随着现代农业技术的发展,人们
电子回旋共振加热(ECRH)是常用的托卡马克(Tokamak)等离子体辅助加热方法之一.ECRH主要由高压电源、微波源、馈线系统、天线系统和控制系统组成.ECRH的控制系统负责其各个子