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沿面型介质阻挡放电因其等离子体区域较大而具有广泛的应用前景。接地电极结构及供电方式直接关系到放电强度和活性物质的生成情况,因此放电装置的结构优化和供电方法研究是研究和应用沿面型介质阻挡放电等离子体的关键问题。本文以增强放电强度、提高活性物质生成量与生成效率为目标,通过实验研究得到了接地电极结构对放电特性的影响及其优化结果,同时研究了大气压下双频容性耦合等离子体的发生方法,通过发射光谱以及放电特性研究,明确了双频容性耦合等离子体的优势与特点,验证了双频容性耦合供电的可行性。论文的主要研究结论如下：(1