该文在利用YAG固体脉冲激光器对硬质合金、Al<,2>O<,3>陶瓷、单晶硅片、玻璃等硬脆性材料进行铣削试验研究的基础上,比较系统地研究了激光铣削原理和工艺,并针对上述不同材料,采用优化工艺铣削出各种图形.主要研究结果如下:系统研究了不同材料在不同单脉冲能量下激光铣削的微观形貌,发现单脉冲能量和所铣削材料不同,其微观形貌差别较大.比较分析了材料物理特性对几种不同硬脆性材料激光铣削量和铣削表面质量的影响,结果表明,熔点、导热率等材料物理性能以及熔体粘度等对其都有很大影响.建立了激光铣削理想速度模型,激光铣削理想速度与激光工艺参数存在以下关系:研究了激光铣削粗糙度产生机理,并建立了粗糙度模型,系统分析了较高单脉冲能量和较低重复频率激光铣削的动力学过程和铣削机理,建立了激光铣削熔体喷射模型.