三乙氧基硅烷既有不稳定的Si-OC₂H₅键，又有活泼的Si-H键。能通过一系列反应如加成、聚合等得到各种有机硅化合物。它是一种重要的有机硅中间体。以它为原料生产的硅烷偶联剂广泛应用于涂料、电子等工业中。在工业上，三乙氧基硅烷是由三氯硅烷和乙醇反应而得，该工艺收率低，反应过程中伴有大量的HCl气体，腐蚀设备，污染环境。本文阐述了以硅粉、乙醇为原料，铜作为催化剂，在惰性气体中直接合成三乙氧基硅烷的新工艺，此合成工艺具有操作方便、工艺简单、没有污染的优点。制备了纳米氧化亚铜催化剂，对其进行了XRD表征。用它在溶剂中催化硅粉与乙醇反应合成三乙氧基硅烷，实验证明反应温度、催化剂用量、硅粉粒度、乙醇流速、对催化剂和硅粉预处理温度、气氛及溶剂对反应均有较大影响。探讨了不同制备方法的纳米氧化铜催化剂对反应的影响，实验发现微波制备的纳米氧化铜催化剂反应效果较好。我们还发现，用微波对硅粉和氧化铜催化剂进行预处理，反应效果较好，具有操作简单、制备时间短等优点。探讨了纳米复合催化剂对反应的影响，找出其较佳反应比例。对三乙氧基硅烷在硅氢加成反应中的应用进行了研究，用它合成γ-氯丙基三乙氧基硅烷及苯乙基三乙氧基硅烷。实验表明，不同催化剂，催化剂用量，反应温度，活化方法，不同方法制备的三乙氧基硅烷均对反应有影响。找出较好工艺条件。