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微晶硅薄膜(μc-Si:H)由于具有高电导率、较高迁移率、可大面积低成制本制备的优点,而在信息显示、大阳能电池等技术领域有广泛的应用.该论文采用热丝法制备优质稳定的微晶硅薄膜,并对其策结构与光电性质进行了深入的研究,同时解释了相关实验结果.
微晶硅薄膜的结构和电学性质的研究
【摘 要】
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微晶硅薄膜(μc-Si:H)由于具有高电导率、较高迁移率、可大面积低成制本制备的优点,而在信息显示、大阳能电池等技术领域有广泛的应用.该论文采用热丝法制备优质稳定的微晶硅
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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中国科学技术大学
【发表日期】
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1999年期
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