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钨酸锆是各向同性的负热膨胀材料,对其负热膨胀性能及其复合材料的研究是当今材料科学的研究热点之一。本课题组用固相法、共沉淀法、溶胶凝胶法等制备方法得到了高纯度的钨酸锆粉体,用磁控溅射和脉冲激光溅射法制备了钨酸锆薄膜,并得到了铜／钨酸锆功能梯度薄膜。铜／钨酸锆功能梯度薄膜可用于电子器件热应力缓冲层,提高电子器件热稳定性,延长电子器件寿命。用有限元方法模拟不同技术参数制备的铜／钨酸锆功能梯度薄膜的热-应力场,可以提高研发效率,在重复实验次数的很少情况下,得到从基底层到表层热应力平缓变化的梯度薄