二维微光开关已被广泛的应用于当今的光通讯领域，然而受微机电系统中的平面微加工技术的工艺限制，使得目前的二维微光开关仅能在二维平面上传送信号。 　　本文的研究是以现有的二维微光开关架构、基本原理及其信号传送模式为基础，加上立体结构的设计思想，采用双层硅基底，并配合表面微加工工艺制造技术，设计出一种具有双自由度的三维微光开关。将信号的传送功能扩展到三维空间，使其具有垂直及水平方向传送信号的功能，增加了输入与输出光纤之间信号传送选择的可能性。 　　作者着重参与了驱动器的设计。驱动器包括滑轨和驱动源。采用凸边滑轨，使其能具有单一直线性的滑动自由度。驱动源由梳状致动器和冲击臂构成，加电后梳状致动器产生高频震荡，带动冲击臂，驱动支撑梁沿单一方向行进。作者对梳状致动器的尺寸进行了设计和计算，并通过MEMCAD软件对设计值进行了模拟分析，选择的模拟方式是动力分析，模拟材料是多晶硅，牺牲层材料是硅磷玻璃，分别模拟了受力情况和位移情况，根据模拟结果，得知现有梳状致动器的设计不会受到应力损伤，并得出需要加载的输入电压值；还对不同厚度的材料进行模拟比较，从而选择合适的梳状致动器的材料厚度；最后，通过对以往参考文献中的梳状致动器的实际设计参数进行模拟，验证了模拟的可靠性。