强电子束流对齿轮零件及模具表面进行加工,可以获得高质量的零件表面。但如何通过控制工作台运动来实现对表面光整的加工是一个重要课题。本文在对该课题开展研究,主要取得如下研究成果。设计了电子束材料表面精整加工的工作台,实现了工作台在真空室内的二维运动。采用单片机产生脉冲信号,通过步进电机驱动器分配各相电流,使步进电机按照设定的速度旋转。PC机控制软件通过串行通信接口与单片机通讯,设定脉冲周期及脉冲个数。工作台的控制采用开环控制,工作台运动误差可能存在于机构的正反向间隙、步进电机的步距角误差等。通过对电子束加工路径的优化,利用开发了的控制工作台移动的可视化软件,使工作台可以按设定的加工轨迹运动。开展了工作台运动精度的测试与误差补偿的优化,实现了误差的可控自动补偿,达到了加工精度的要求,为该工作台成功应用于电子束流加工系统中奠定了重要基础。