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隧穿磁强计是一种基于量子力学中隧道效应原理的磁强计,但目前国内研究的隧穿磁强计或是由于驱动电压较高或是由于灵敏度不足的原因,不能满足微小型卫星的需要,因此本文提出了一种新型结构的隧穿磁强计来解决现存的问题。
基于微结构的隧穿效应原理,本文提出了三种结构方案,通过方案对比确定了新型隧穿磁强计—多梳齿结构满足性能要求,该磁强计结构由四部分组成:梳齿结构、硅尖电极、质量弹簧系统、通电线圈。利用微弹性梁的知识和所需要的性能要求,确定了磁强计各部分具体的数据。利用有限元仿真验证了几何建模的正确性并给出了各阶模态的振型。确定了隧穿磁强计的加工工艺方案,并利用Intellisuite仿真软件对加工过程进行仿真,确定工艺的正确性。通过本文的研究,解决了磁强计应用在卫星上驱动电压较高的问题,驱动电压降为16.5V,灵敏度在一定程度上随驱动电压的降低而增大,满足了性能的要求,为进一步设计新一代的隧穿磁强计提供了一个新的思路。