磁性磨粒是影响磁性磨粒加工效果的重要因素,而磁性磨粒的制备工艺又直接影响着磁性磨粒的性能及生产效率。由于目前的制备工艺并不理想,近年来,不少学者都在致力于改善或者研究新的磁性磨粒的制备工艺,从而提高磁性磨粒的性能要求和生产效率、降低生产成本,而这些制备工艺有的是需要高要求的设备,有的是复杂的工艺路线,有的是破碎率低,并不能同时满足简单易得、性能良好的磁性磨粒。近年来,关于磁性材料四氧化三铁及四氧化三铁的复合物研究日益剧增,但将其应用在机械磁性磨粒方面的研究并不多,四氧化三铁具有良好的磁性性能,经过化学或者物理改性后,其可以与其他有机或者无机物更好的相容。为解决上述问题,本文采用化学法,以四氧化三铁为磁介质相,二氧化硅为磨粒相,制备出一种简单易行且无须粘接与破碎工艺的包覆型磁性磨粒,并对工艺参数、磁性性能及加工性能进行研究分析。本文的主要研究内容如下:1.分析对比了四氧化三铁及二氧化硅的制备方法,制定了以四氧化三铁为核,二氧化硅为壳的包覆型磁性磨粒的制备工艺,并对制备出来的包覆型磁性磨粒进行了结构、成分、磁性性能以及粒度分析,结果表明,用该工艺制备出的磁性磨粒二氧化硅成功包覆在四氧化三铁表面,且磁性性能良好;2.分析了包覆工艺中主要工艺参数氨水的滴定速率、正硅酸乙酯的用量和温度对磁性磨粒的形貌的影响,应用Minitab软件,设计全因子实验,以这三个主要参数为影响因子,粒度为响应,分析包覆工艺中工艺参数对包覆型磁性磨粒的粒度的影响,并得出工艺参数与粒度之间的数学关系模型:粒度=0.0929A+0.97523B-0.051066C-0.01298A*B+0.0000639A*C;3.对磁回路测试装置按1:1的比例建立模型,使四氧化三铁占总颗粒的体积比值一定,建立磨粒的模型。采用Maxwell软件,仿真分析不同包覆层厚度磁性磨粒在不同电流下的磁感应强度,并用磁回路测试装置对其磁性测试。仿真结果与实测结果均表明:随着包覆层厚度的增加,包覆型磁性磨粒的磁性性能在降低;4.用加工硅片实验验证包覆型磁性磨粒的研磨性能。通过实验分别探究了不同的包覆层厚度以及不同的研磨液对硅片加工的表面粗糙度值的影响。结果表明,当正硅酸乙酯的用量为3 ml时,硅片的加工较好;以NaOH为研磨液的情况下,可以很好的加工硅片。