CVD金刚石薄膜由于硬度高,弹性模量大,热导率高,摩擦系数小等优异性能,一以来作为减摩、耐磨涂层材料的最优选择,经常被用来涂覆在刀具、轴承等耐磨设备上,能够减小刀具以及轴承在工作过程中的摩擦系数,提高其耐磨性能的同时还可以极大程度的提高材料的使用寿命。本文通过热丝化学气相沉积方法在碳化硅陶瓷球表面制备了微米金刚石薄膜、细晶粒金刚石薄膜和复合微米金刚石薄膜三种金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜,拉曼光谱、三维白光表面形貌仪等对不同种类的金刚石薄膜进行性能表征,最后通过球盘式摩擦磨损实验机,探究了在摩擦过程中三种金刚石涂层陶瓷球以及未涂层的陶瓷球在对磨过程中的摩擦系数以及磨损形貌,本文的研究意义在于对拓展金刚石涂层的应用范围,提高金刚石涂层在轴承中的使用寿命。主要研究内容如下:（1）本文针对碳化硅陶瓷球称底,采用不同的制备参数在碳化硅陶瓷球表面分别制备出了微米金刚石薄膜、细晶粒金刚石薄膜以及复合微米金刚石薄膜,研究了不同沉积参数下制备三种表面光滑平整且涂层质量高,性能优异的CVD金刚石薄膜的沉积工艺。（3）利用表征设备分别对三种金刚石薄膜形貌、质量、成分和粗糙度进行分析,研究发现:微米金刚石薄膜表面分布比较均匀,但表面存在较多尖峰、薄膜表面粗糙度以及金刚石结晶纯度较高。对比微米金刚石薄膜,细晶粒薄膜在扫描电子显微镜下呈现出颗粒细小、表面十分平坦、粗糙度最低,薄膜中含有较多的非金刚石成分导致金刚石纯度降低,沉积的金刚石质量较差。复合微米金刚石薄膜有着和微米金刚石薄膜相似的晶粒尺寸但其表面的尖峰较少,表面也较为平坦,薄膜主要含有金刚石和石墨,其结晶质量比微米薄膜稍差,粗糙度较低。（4）通过“球-盘”往复式摩擦磨损试验机在干摩擦条件下,对三种CVD金刚石薄膜的摩擦学性能进行了分析。研究发现:对比未涂层的碳化硅陶瓷球称底,在陶瓷球表面涂一层金刚石薄膜能够明显降低对磨过程中的摩擦系数（5）通过扫描电子显微镜对磨损后的未涂层碳化硅陶瓷球以及三种CVD金刚石涂层的碳化硅陶瓷球的表面形貌进行了检测。可以看出:对于陶瓷球表面制备的三种金刚石涂层之间的（表面形貌、薄膜质量以及成分）都能较大程度地影响薄膜的摩擦学性能。