基于屈曲脱粘的纳米薄膜力学及界面性能研究

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薄膜/基底结构有效地实现了系统微型化和信息化,被广泛地应用在微电子、航天、生物、医学等领域。在外载的作用下,膜/基结构在工作过程中会出现薄膜断裂、屈曲、脱粘等失效模式。膜/基结构界面的破坏,会极大地影响结构的在役性能。本文将结合实验与数值分析,基于屈曲脱粘对基底上沉积的纳米薄膜的力学性能及界面性能进行研究。原位观察了薄膜/有机玻璃基底结构在单轴压缩加载下薄膜表面直线型屈曲的生成和扩展过程,采用屈曲扩展理论对实验现象进行研究。在卸载过程中,观察到了直线型屈曲模式转化为电话线型屈曲,后转化为泡状屈曲。研
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