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本文采用聚合物驱体方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了铌酸锂(LiNbO3)铁电薄膜。以Nb-柠檬酸为原料，替代溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺中金属醇盐，在水溶液制备前驱体溶胶，解决了金属醇盐易水解和价格昂贵等问题。
本文以Nb2O5为初始原料，不同羟基羧酸如柠檬酸、苹果酸和酒石酸为配位剂与金属离子配位，形成金属-羟基羧酸配合物溶液；以Nb-柠檬酸配合物溶液为原料，乙二醇为酯化剂，采用聚合物前驱体法制备稳定的Li-Nb前驱体溶胶。将获得的稳定Li-Nb前驱体溶胶采用旋转法镀膜，所得湿膜在200℃干燥，400℃预烧30min，而后经700℃下退火2h。结果表明，热处理过程中未见有其它中间相形成，说明前驱体溶胶各组分混合的均匀性。700℃退火2h所得薄膜为单一晶相的铌酸锂薄膜，薄膜表面均匀、平整、无裂纹，晶粒平均尺寸约为50nm。