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摩擦现象与人类的生产和生活密切相关，自80年代原子显微镜和摩擦力显微镜问世以后，发现在原子、分子及纳米级尺度下宏观的摩擦规律不再适用，摩擦学研究开始进入微观与宏观结合的新阶段，随着微电子技术的飞速发展而兴起的微电子机械系统(Micro Electron Mechanical System，MEMS)，其零部件的几何尺寸目前一般在微米数量级，他们之间的摩擦介于微观与宏观摩擦之间，称之为微小摩擦。对于微小摩擦现象是否服从宏观摩擦定律，摩擦件的尺寸达到何种程度才能进入微观摩擦的领域，这是当前从事MEMS研