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本论文在分析各种纳米干涉仪的基础上，重点探讨了目前常用的双频激光外差干涉仪。
本文首先分析、研究了现有各种外差干涉仪的信号处理方法和应用范围，现有的外差干涉信号处理主要以锁相倍频原理来提高测量的精度，本论文提出了一种基于锁相混频的双向差动鉴相的相位测量方法。
本文以平面镜激光外差干涉仪为主，设计了干涉仪的机械结构与整体集成，并针对外差干涉信号设计出一种较为完善的信号处理电路，研制和实现了基于锁相环混频的双向差动鉴相的相位测量系统。
本文分别进行了系统稳定性实验、混频后的相位计对比实验、激光外差干涉信号的对比实验.