臭氧作为氧化剂和消毒剂具有广泛的用途。它不仅能够快速杀死所有细菌和霉菌,而且可以灭活几乎所有病毒,其消毒能力远胜于水处理中常用的氯和医学上的其他杀菌消毒剂。同时它还能氧化分解有毒有害有机物和一些还原性无机物,在水处理、空气净化等方面的有着越来越广泛的应用。沿面放电法是一种新型的臭氧发生方法,放电沿氧化铝基板面进行,产生成低温等离子体,引起强烈的电化学作用。臭氧的生成量、浓度及效率可由施加的电压、电源频率、气体流量及气压加以控制。因此,装置能实现小型化、且臭氧的产生率,设备的稳定性都得到很大的提高。本文根据高压放电非平衡等离子体的形成机理分析,得出结论:要提高臭氧的生成效率,高压脉冲电源输出电流脉冲必须具有窄脉宽,陡前沿,高重复频率,大能流密度的特征。据此设计了新型大功率窄脉冲臭氧发生电源系统,对于电源频率、电场强度、放电波形、电极结构、气体流量等问题进行了试验研究,制成的臭氧电源能产生前沿小于50ns,脉冲半宽约为150ns,重复频率10～20kHz可调,电压0～15kV可调的高压高频脉冲,整个电路周期处于无火花放电的高效电晕放电下,效率高,且负载变化时能自动调整输出电压以改善放电状态,臭氧产量高达108.5gO₃/kw.h,体积和设备重量远小于工频臭氧发生器,工作性能稳定可靠,各项指标均取得了理想的效果,达到国内先进水平。